一酸化ケイ素（SiO）-スパッタリングターゲット

特性

一酸化ケイ素は無機化合物であり、その化学式はSiOであり、常温高圧下では黒褐色から色の薄いアモルファス粉末であり、水に不溶性であり、希フッ化水素酸と硝酸混合酸に溶解し、白い二酸化ケイ素粉末を生成するための空気。一酸化ケイ素は不安定で、空気中で酸化してシリカになります。

化学式：SiO

モル質量：44.08g / mol

外観：茶黒色ガラス状固体

密度：2.13g / cm3

融点：1,702°C（3,096°F; 1,975 K）

沸点：1,880°C（3,420°F; 2,150 K）

水への溶解度：不溶性

応用

一酸化ケイ素粉末は、その活性が高いため、窒化ケイ素や炭化ケイ素微細セラミック粉末などの微細セラミック合成の原料として使用できます。光学ガラスおよび半導体材料の調製。

真空中で蒸着し、保護膜として光学機器の金属鏡面にコーティングします。半導体材料の調製。