窒化ケイ素（Si3N4）スパッタリングターゲット

特性

窒化ケイ素は、珪素および窒素の元素の化合物である。 si₃N₄窒化ケイ素の最も熱力学的に安定なものです。したがって、Si₃N₄窒化ケイ素の中で最も商業的に重要であり、一般に、「窒化ケイ素」が使用される場所と呼ばれるものとして理解される。それは比較的化学的に不活性な白色の高融点固体であり、希薄HFおよび熱H 2 SO 4によって攻撃される。それは非常に難しい（MOHSスケールで8.5）。それは高い熱安定性を持っています。

化学式：Si.₃N₄

モル質量：140.283 g・モル^{-  1}

外観：灰色、無臭の粉

密度：3.17 g / cm³

融点：1,900℃（3,450°F; 2,170 K）

水への溶解度：不溶性

屈折率（ND）：2.016

応用

窒化ケイ素は、Siのような高級耐火物として使用される₃n₄高炉本体や他の部品のためのSiCと組み合わされた耐火物。SiとしてBNと組み合わせると₃N₄水平連続鋳造分離リングに使用される-BN材料。 si₃N₄-BNシリーズ水平連続鋳造分離リングは、均一な構造と高い機械的強度を有する一種の微細構造のセラミック材料であり、衝撃に対する耐性が高く、そして連続鋳造プロセス要件に沿って、溶鋼によって濡らさないであろう。

熱界面複合材料、太陽光発電除電器、蛍光体粉末、特殊セラミックスの調製に使用されます。