酸化ガリウム（Ga2O3）-スパッタリングターゲット

特性

三酸化ガリウム（III）は、式Gaの無機化合物です。₂O₃。それはいくつかの多形として存在し、それらはすべて白色の水不溶性の固体です。商用アプリケーションは存在しませんが、Ga₂O₃ガリウムの精製の中間体であり、ガリウムヒ素としてほぼ独占的に消費されます。

化学式：Ga₂O₃

モル質量：187.444g / mol

外観：白色結晶性粉末

密度：6.44g / cm³、アルファ

5.88 g / cm³、ベータ

融点：1,900°C（3,450°F; 2,170 K）アルファ

1725°C、ベータ

水への溶解度：不溶性

溶解性：ほとんどの酸に可溶

応用

酸化ガリウム（III）は、レーザー、リン光物質、および発光材料の使用で研究されてきました。タイトジャンクションの絶縁バリアとしても使用されています。単斜晶系β-Ga₂O₃ガスセンサーや発光リン光物質に使用され、太陽電池の誘電体コーティングに適用できます。この安定した酸化物は、深紫外線透明導電性酸化物やトランジスタ用途の可能性も示しています。

ε-Ga₂O₃サファイア上に堆積された薄膜は、ソーラーブラインドUV光検出器としての潜在的な用途を示しています。

薄いGa₂O₃フィルムは、ガスに敏感な材料およびGaとして商業的に関心があります。₂O₃。エリプソメトリーは、β-Gaの光学機能を決定するために使用できる手順です。₂O₃.

β-Ga₂O₃Gaの生産に使用されます₂O₃-アル₂O₃触媒。