窒化タンタル（TaN） - キューブ/正方形

特性

窒化タンタル（TaN）は、タンタルの窒化物である化合物です。 Taから化学量論的に化合物の複数の相があります₂NからTa₃N₅TaNを含む。

化学式：TaN

モル質量：194.955g / mol

外観：黒い結晶

密度：14.3g / cm³

融点：3,090°C（5,590°F; 3,360 K）

水への溶解度：不溶性

結晶構造：六方晶、hP6

応用

集積回路の製造で、銅やその他の導電性金属の間に拡散バリアまたは「接着剤」層を作成するために使用されることがあります。 BEOL処理（約20 nm）の場合、銅は最初にタンタルでコーティングされ、次に物理蒸着（PVD）を使用してTaNでコーティングされます。次に、このバリアコーティングされた銅は、PVDによってさらに銅でコーティングされ、電解コーティングされた銅が充填されてから、機械的に処理されます。

また、薄膜抵抗器にも応用できます。ニクロム抵抗器に比べて、湿気に強い不動態化酸化皮膜を形成するという利点があります。