ホウ化ハフニウム（HfB2）スパッタリングターゲット

特性

二ホウ化ハフニウムは、ハフニウムとホウ素からなるセラミックの一種の超高温セラミックスのクラスに属しています。それは約3250℃の融解温度を有する。それは比較的高い熱伝導性および導電率、それが二酸化器および二ホウ化ジルコニウムと共有する特性を有する異常なセラミックである。それは灰色の金属探しの素材です。二ホウ化ハフニウムは、1モル当たり200.11グラムのモル質量、1立方センチメートル当たり10.5グラムの密度を有する。

化学式：HFB.₂

モル質量：200.11g / mol

密度：10.5 g / cm³

融点：CA。 3,250℃（5,880°F; 3,520 K）

結晶構造：六角形、HP3

応用

二ホウ化ハフニウムは、原子炉制御棒の可能な新たな材料としても調査されています。マイクロチップ拡散障壁としても調査されています。正しく合成される場合、バリアは厚さ7nm未満であり得る。