タンタルメタル（TA）スパッタリングターゲット

特性

タンタルは、記号がTaで原子番号が73の化学元素です。タンタルは、非常に耐食性のある、希少で硬い青灰色の光沢のある遷移金属です。

STPでのフェーズ：固体

外観：グレーブルー

融点：3290 K（3017°C、5463°F）

沸点：5731 K（5458°C、9856°F）

密度（r.t.付近）：16.69g / cm³

液時（m.p.時）：15g / cm³

融解熱：36.57 kJ / mol

蒸発熱：753 kJ / mol

モル熱容量：25.36J /（mol・K）

応用

これは、合金の微量成分として広く使用されている高融点金属グループの一部です。タンタルの化学的不活性は、実験装置の貴重な物質であり、プラチナの代替品になります。今日の主な用途は、携帯電話、DVDプレーヤー、ビデオゲームシステム、コンピューターなどの電子機器のタンタルコンデンサです。