シリコン（Si）-スプレーロータリースパッタリングターゲット

特性

シリコンは、主にマグネトロンスパッタリングめっきSiO2とSiN誘電体層の反応系で使用される重要な種類のスパッタリングターゲット材料であり、重要な機能性薄膜材料として、優れた硬度、光学特性、誘電特性、耐摩耗性、耐食性、光学、マイクロエレクトロニクス、およびその他の分野におけるその他の特性は、幅広い用途の見通しがあり、機能性材料は広く国際的な注目を集めています。

一般的に、シリコンターゲットは単結晶タイプと多結晶タイプに分けることができます。

応用

主に光学ガラス、タッチスクリーンのARフィルムシステム、Low-Eコーティングガラス、半導体エレクトロニクス、フラットディスプレイ、タッチスクリーンに使用されるSiO2 / Si3N4フィルムの製造に使用されます。