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製品の詳細

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シリコン（Si）-スプレーロータリースパッタリングターゲット

CAS：
7440-21-3
分子式：
Si
製品コード：
1400SRT
純度：
≥99.9％
仕様：
カスタマイズ
EINECS No.：
231-130-8

可用性ステータス:



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特性

シリコンは、主にマグネトロンスパッタリングめっきSiO2とSiN誘電体層の反応系で使用される重要な種類のスパッタリングターゲット材料であり、重要な機能性薄膜材料として、優れた硬度、光学特性、誘電特性、耐摩耗性、耐食性、光学、マイクロエレクトロニクス、およびその他の分野におけるその他の特性は、幅広い用途の見通しがあり、機能性材料は広く国際的な注目を集めています。

一般的に、シリコンターゲットは単結晶タイプと多結晶タイプに分けることができます。

応用

主に光学ガラス、タッチスクリーンのARフィルムシステム、Low-Eコーティングガラス、半導体エレクトロニクス、フラットディスプレイ、タッチスクリーンに使用されるSiO2 / Si3N4フィルムの製造に使用されます。