オキシ窒化アルミニウム（AlON）-スパッタリングターゲット

特性

酸窒化アルミニウムまたはALONは、アルミニウム、酸素、窒素で構成されるセラミックです。溶融シリカガラスの4倍の硬さ、サファイアの85％の硬さ、アルミン酸マグネシウムスピネルの約15％の硬さです。立方晶スピネル構造であるため、従来のセラミック粉末加工技術を使用して、透明な窓、プレート、ドーム、ロッド、チューブなどの形状に製造できます。ALONは、市販されている中で最も硬い多結晶透明セラミックです。

化学式：（AlN）x・（Al₂O₃)_1−x、0.30≤x≤0.37

外観：白色または透明な固体

密度：3.691〜3.696 g / cm³

融点：〜2150°C

水への溶解度：不溶性

屈折率（nD）：1.79

応用

ALONは、透明な装甲材として使用されるほか、赤外線光学窓としても使用されます。そのため、センサーコンポーネント、特殊なIRドーム、レーザー通信用のウィンドウ、および一部の半導体関連アプリケーションとしてのアプリケーションがあります。