炭化タンタル（TaC）スパッタリングターゲット

特性

炭化タンタルは、タンタルと炭素の二成分化合物を形成し、実験式TACXを用いて炭素を形成し、ここでXは通常0.4~1の間で変化する。それらは、金属導電性を有する極めて硬くて脆弱な耐火性セラミック材料である。それらは褐色灰色の粉末として現れます。これは通常焼結によって処理されます。

化学式：Tac.

モル質量：192.96 g / mol

外観：ブラウングレーの粉

臭い：無臭

密度：14.3~14.65 g / cm³（TAC）

15.1g / cm³（TAC0.5）

融点：3,850~3,880℃（6,960-7,020°F; 4,120-4,150K）（TAC）

3,327℃（6,021°F; 3,600K）（TAC0.5）

沸点：4,780~5,470℃（8,640~9,880°F; 5,050-5,740K）（TAC）

水への溶解度：不溶性

応用

重要なサーメット材料であるため、タンタル炭化物は、切断用途のためのツールビットに商業的に使用され、炭化タングステン合金に添加されることがあります。