金属合金スパッタリングターゲット
- アルミニウムバナジウム合金（AlV）-スパッタリングターゲット
- コバルトクロム鉄アルミニウム（CoCrFeAl）-スパッタリングターゲット
- 白金マンガン合金（PtMn）-スパッタリングターゲット
- チタンアルミニウムクロム合金（TiAlCr）-スパッタリングターゲット
- コバルトクロムアルミニウムイットリウム（CoCrAlY）-スパッタリングターゲット
- 鉄シリコン合金（FeSi）-スパッタリングターゲット
- コバルト鉄シリコン（CoFeSi）-スパッタリングターゲット
- シリコンゲルマニウム合金（SiGe）-スパッタリングターゲット
- チタンクロム合金（TiCr）-スパッタリングターゲット
- ニッケル鉄合金（NiFe（36/64 wt％））-スパッタリングターゲット