金属合金スパッタリングターゲット
- アルミニウムマンガン(AlMn)-スパッタリングターゲット
- 金ゲルマニウムニッケル合金(AuGeNi)-スパッタリングターゲット
- アルミニウムスズ銅合金(AlSnCu)-スパッタリングターゲット
- ニッケルアルミニウム合金(Ni:Al(50:50 at%))-スパッタリングターゲット
- チタンアルミニウムシリコン合金(TiAlSi)-スパッタリングターゲット
- ニオブチタン(NbTi)-スパッタリングターゲット
- アルミニウムクロム銅合金(AlCrCu)-スパッタリングターゲット
- 銅インジウムガリウム(CuInGa)-スパッタリングターゲット
- アンチモン化アルミニウム合金(AlSb)-スパッタリングターゲット
- チタンアルミニウム合金(TiAl(10:90 at%))-スパッタリングターゲット