金属合金スパッタリングターゲット
- アルミスカンジウム合金（AlSc）スパッタリングターゲット
- ニオブアルミニド（NbAl（90:10））-スパッタリングターゲット
- スズ銅（SnCu（63:35 at％））-スパッタリングターゲット
- ニッケルクロム合金（NiCr（80：20 Wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅ガリウム合金（CuGa（80:20 wt％）） - スパッタリングターゲット
- モリブデンタンタル合金（MoTa）スパッタリングターゲット
- アルミニウムニオブ合金（AlNb）-スパッタリングターゲット
- コバルトクロムスズ合金（CoCrSn（50/25/25 at％））-スパッタリングターゲット
- タングステンタンタル合金（WTa）-スパッタリングターゲット
- アルミニウムニッケルライド（Al3Ni）-スパッタリングターゲット