五酸化タンタル（Ta2O5）-スパッタリングターゲット

特性

五酸化タンタルは、酸化タンタル（V）とも呼ばれ、式Taの無機化合物です。₂O₅。それはすべての溶媒に不溶性であるが、強塩基とフッ化水素酸によって攻撃される白い固体です。タ₂O₅は、屈折率が高く、吸収が低い（つまり無色）不活性材料であるため、コーティングに役立ちます。また、誘電率が高いため、コンデンサの製造にも広く使用されています。

化学式：Ta₂O₅

モル質量：441.893g / mol

外観：白色無臭粉末

密度：β-Ta2O5= 8.18 g / cm³

α-Ta2O5= 8.37 g / cm³

融点：1,872°C（3,402°F; 2,145 K）

水への溶解度：無視できる

溶解性：有機溶剤やほとんどの鉱酸に不溶、HFと反応

バンドギャップ：3.8〜5.3 eV

磁化率（χ）：− 32.0・10⁻⁶CM³/ mol

屈折率（nD）：2.275

応用

エレクトロニクス分野

バンドギャップと誘電率が高いため、五酸化タンタルは電子機器、特にタンタルコンデンサでさまざまな用途に使用されています。これらは、自動車用電子機器、携帯電話、ポケットベル、電子回路で使用されています。薄膜部品;と高速ツール。1990年代には、DRAMコンデンサアプリケーションのhigh-k誘電体として酸化タンタルを使用することに関心が高まりました。

これは、高周波CMOS集積回路用のオンチップ金属-絶縁体-金属コンデンサで使用されます。酸化タンタルは、不揮発性メモリの電荷トラップ層としての用途があります。抵抗スイッチングメモリには酸化タンタルの用途があります。

その他の用途

屈折率が高いため、Ta₂O₅写真レンズのガラスの製造に利用されてきました。

Ta2O5_MSDS.pdf