酸化物セラミックスパッタリングターゲット
- 酸化クロム（Cr2O3）-スパッタリングターゲット
- 酸化ハフニウム（HfO2）-スパッタリングターゲット
- イットリウムバリウム銅酸化物（YBCO）-スパッタリングターゲット
- イットリア安定化ジルコニア（YSZ）（ZrO2-Y2O3）-スパッタリングターゲット
- 酸化アルミニウム（Al2O3）-スパッタリングターゲット
- 四酸化三コバルト（酸化コバルト）（Co3O4）-スパッタリングターゲット
- 酸化セリウム（CeO2）スパッタリングターゲット
- ガドリニウム酸化ガドリニウム（Gd2O3）スパッタリングターゲット
- 酸化イットリウム（Y2O3）スパッタリングターゲット
- オキシ窒化アルミニウム（AlON）-スパッタリングターゲット