酸化物セラミックスパッタリングターゲット
- 酸化クロム(Cr2O3)-スパッタリングターゲット
- イットリウムバリウム銅酸化物(YBCO)-スパッタリングターゲット
- 酸化アルミニウム(Al2O3)-スパッタリングターゲット
- 四酸化三コバルト(酸化コバルト)(Co3O4)-スパッタリングターゲット
- 酸化セリウム(CeO2)スパッタリングターゲット
- ガドリニウム酸化ガドリニウム(Gd2O3)スパッタリングターゲット
- 酸化イットリウム(Y2O3)スパッタリングターゲット
- オキシ窒化アルミニウム(AlON)-スパッタリングターゲット
- 酸化インジウムスズ(In2O3-SnO2)逆スパッタリングターゲット
- 酸化スズ-亜鉛(SnO2-ZnO)-スパッタリングターゲット