オキシ窒化アルミニウム(AlON)-スパッタリングターゲット
製品説明
特性
酸窒化アルミニウムまたはALONは、アルミニウム、酸素、窒素で構成されるセラミックです。溶融シリカガラスの4倍の硬さ、サファイアの85%の硬さ、アルミン酸マグネシウムスピネルの約15%の硬さです。立方晶スピネル構造であるため、従来のセラミック粉末加工技術を使用して、透明な窓、プレート、ドーム、ロッド、チューブなどの形状に製造できます。ALONは、市販されている中で最も硬い多結晶透明セラミックです。
化学式:(AlN)x・(Al2O3)1−x、0.30≤x≤0.37
外観:白色または透明な固体
密度:3.691〜3.696 g / cm3
融点:〜2150°C
水への溶解度:不溶性
屈折率(nD):1.79
応用
ALONは、透明な装甲材として使用されるほか、赤外線光学窓としても使用されます。そのため、センサーコンポーネント、特殊なIRドーム、レーザー通信用のウィンドウ、および一部の半導体関連アプリケーションとしてのアプリケーションがあります。