表面コーティング技術におけるプラズマの応用

スパッタリング蒸着

スパッタリングは高速イオン衝撃の固体の使用ですスパッタリングターゲットそのため、表面分子が塗布して膜を形成するようにして、基板上に突出した。スパッタリングイオンの初期運動エネルギーは約100eVである。共通プラズマガスはアルゴンである。

プラズマ支援蒸着

気相化学堆積化学反応は高温基質上で行い、十分なガス前駆体エネルギー応答を得る。

プラズマ重合

ポリマーまたはプラスチックフィルムをコーティングするための最も簡単な技術はそれを溶媒に塗布し、次いで基板に適用することである。プラズマ重合コーティング法は、化学反応を通して分子モノマーを刺激することであり、基板上にコーティングされた均一なポリマーを形成することである。血漿の基質上への影響への影響もまた非常に強い。

プラズマエッチング

湿式アルカリエッチングは最も簡単で安価な方法であり、不利な点はアルカリエッチングを有することであり、底部切断問題を引き起こすであろう。

プラズマ溶射

高温で働く金属部品は、高温腐食を防ぐためにセラミックで覆われなければなりません。