真空コーティングにおける蒸発源の材料要件は何ですか？

一般に、蒸発源の材料および形状を考慮する必要があります。の一般的な要件蒸発源材料それは：

高融点

蒸発材料の蒸発温度（平衡蒸気圧1.3Paの温度）は1000~2000℃の間であるため、蒸発源材料の融点はこの温度よりも高くなければならない。

バランス蒸気圧力

主な目的は、高温蒸発材料の下で蒸発原料を防止または低減し、蒸発コーティング層に不純物になることである。蒸発の間に最も小さい自己蒸発を確実にするのに十分なほど低い場合の蒸発源材料のみが、蒸発源材料の量をほとんど影響を与えるために、蒸発源材料の量をほとんど影響を与えるために、システムの真空および汚染膜層に影響を与えないようにする。温度、蒸発源材料選択は、蒸発温度の材料を蒸発源材料よりも低くする必要があります。映画

安定化学的性質

蒸発材料との化学反応は高温では発生してはいけません。高温では、いくつかの蒸発原料材料が反応し、蒸発された材料と反応し、化合物および合金を形成する。特に低共晶合金蒸発源は燃焼が容易である。例えば、タンタルおよび金は高温で合金を形成し、そしてアルミニウム、鉄、ニッケル、コバルトもまた、タングステン、モリブデン、タンタルおよび他の蒸発材料を有する合金を形成するであろう。タングステンはまた、水または酸素と反応して、WO、WO 2またはWO 3のような揮発性酸化物を形成することができる。モリブデンはまた、水または酸素と反応して揮発性MOO3などを形成することができるので、コーティング材料と反応しないか、または材料の蒸発源材料を作るために合金を形成する材料を選択するべきである。

蒸発源として使用される材料は、高温冷却後に高融点、低揮発性および低い脆性を有していなければならない。一般的に使用されている線状蒸発源は、蒸発金属相で濡らすことができなければならず、融点は金メッキの蒸発温度よりはるかに大きく、金メッキ合金とは反応しない。