希土類元素のホウ化ランタンスパッタリングターゲット

ホウ酸ランタンが電子を放出する能力を有する熱電子材料であることはよく知られている。直接高温太陽吸収剤または電子源として使用することができ、将来的には太陽熱電子システムを集中させるシステムの複雑さを軽減し、この分野で実際の革新をもたらす可能性がある。ホウ化ランタンスパッタリングターゲットは、電子部品を塗布するために使用されてきた。

ホウ酸ランタンは、六土類金属元素Laおよび非金属元素Bの化合物である。結晶構造は単純な立方体であり、そしてB原子はランタン原子を囲んで八面体構造を形成する。結晶構造のために、ホウ化ランタンスパッタリングターゲットからなる六ホウ化ランタンセラミックフィルムは良好な導電性を有する。

ホウ化ランタンの利点

ホウ化ランタンスパッタリングターゲットは、高融点、高強度および高硬度を有する。 LAB6構造の自由電子はまた、金属のような良好な電気的および熱伝導率を与える。 Lab 6スパッタリングターゲットは高い化学的安定性を有し、600℃から900℃の酸化が低いと、室温でAqua Regiaおよび硝酸とのみ反応します。

ホウ化ランタンの他の用途

熱電子放出（カソード）、プラズマ強化コーティング（PECVD）プラズマ源、真空電子ビーム溶接機、電子ビーム表面改質装置、電子ビームリソグラフィ装置、透過型電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、表面分析装置、放射線療法装置。