二酸化ジルコニウム（ZrO2）-スパッタリングターゲット

特性

二酸化ジルコニウム（ZrO₂）は、ジルコニア（ジルコンと混同しないでください）としても知られ、ジルコニウムの白色結晶酸化物です。単斜晶系の結晶構造を持つその最も自然に発生する形態は、鉱物バデライトです。ドーパントで安定化された立方構造ジルコニアである立方ジルコニアは、宝石やダイヤモンド類似石として使用するためにさまざまな色で合成されます。

化学式：ZrO₂

モル質量：123.218g / mol

外観：白色粉末

密度：5.68g / cm³

融点：2,715°C（4,919°F; 2,988 K）

沸点：4,300°C（7,770°F; 4,570 K）

水への溶解度：無視できる

溶解性：HFに可溶、高温のH2SO4

屈折率（nD）：2.13

応用

ジルコニアの主な用途は、歯科（下記参照）などの硬質セラミックの製造であり、二酸化チタン顔料の粒子の保護コーティング、耐火材料、断熱材、研磨剤、エナメルなどの他の用途もあります。安定化ジルコニアは、酸素イオンが高温で結晶構造内を自由に移動できるため、酸素センサーや燃料電池膜に使用されています。この高いイオン伝導率（および低い電子伝導率）により、最も有用な電気セラミックの1つになります。二酸化ジルコニウムは、エレクトロクロミックデバイスの固体電解質としても使用されます。

ジルコニアは、無数のコンポーネントに含まれる高K誘電体である電気セラミックチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）の前駆体です。