二酸化ケイ素（SiO2）-スパッタリングターゲット

特性

シリカとしても知られる二酸化ケイ素は、化学式SiOのケイ素の酸化物です。₂、最も一般的にはクォーツとして自然界やさまざまな生物に見られます。は酸性酸化物であり、水和物に対応するのはケイ酸塩（H₂SiO₃）二酸化ケイ素は、鉱物と合成の両方で、最も複雑で豊富な材料ファミリーの1つです。SiO₂結晶にはさまざまな種類の結晶があり、その基本構造単位は四面体です。

化学式：SiO₂

モル質量：60.08g / mol

外観：透明固体（アモルファス）;白/白っぽい黄色（粉末/砂）

密度：2.648（α-石英）、2.196（アモルファス）g・cm⁻³

融点：1,713°C（3,115°F; 1,986 K）

沸点：2,950°C（5,340°F; 3,220 K）

磁化率（χ）：− 29.6・10⁻⁶CM³/ mol

熱伝導率：12（|| c軸）、6.8（⊥c軸）、1.4（am。）W /（m・K）（p12.213）

屈折率（nD）：1.544（o）、1.553（e）（p4.143）

応用

SiOのネットワーク構造₂その優れた物理的および化学的特性を決定します。加えて、SiO₂自然界に広く存在し、古くから人類に広く利用されてきました。シリカなどの化合物を高温で溶融し、急冷してガラスを製造します。また、砂や石英の主成分であり、半導体およびソーラーパネルの用途。