ルテニウム金属（Ru）-スパッタリングターゲット

特性

ルテニウムは、記号Ru、原子番号44の化学元素です。周期表の白金基に属する希少な遷移金属です。白金族の他の金属と同様に、ルテニウムは他のほとんどの化学物質に対して不活性です。

STPでのフェーズ：固体

融点：2607 K（2334°C、4233°F）

沸点：4423 K（4150°C、7502°F）

密度（rt付近）：12.45 g / cm³

液体の場合（mp）：10.65 g / cm³

融解熱：38.59 kJ / mol

蒸発熱：619 kJ / mol

モル熱容量：24.06 J /（mol・K）

応用

製造されたほとんどのルテニウムは、耐摩耗性の電気接点と厚膜抵抗器に使用されます。ルテニウムのマイナーな用途は、白金合金および化学触媒としてです。ルテニウムの新しい用途は、極紫外線フォトマスクのキャッピング層としてです。