ホウ化物ターゲットおよび関連パラメータ

のパラメータのパラメータホウ化物

Lab 6ターゲット材料、融点2230℃、密度4.7g / cm 3、抵抗率15μΩ・cm、ビッカース硬度27.7 GPa。

TIB2ターゲット、融点2980℃、密度4.5g / cm 3、抵抗率9~15μΩ・cm、ビッカース硬度33.5 GPa。

ZrB2ターゲット材料、融点3040℃、密度6.1g / cm 3、抵抗率7~10μΩ・cm、ビッカース硬度22.5 GPa。

HFB2ターゲット材料、融点3250℃、密度11.2g / cm 3、抵抗率10~12μΩ・cm、ビッカース硬度29 GPa。

NBB2ターゲット材料、融点3000℃、密度7g / cm 3、抵抗率12~65μΩ・cm、ビッカース硬度26 GPa。

TAB2ターゲット材料、融点3100℃、密度12.6g / cm 3、抵抗率14~68μΩ・cm、ビッカース硬度25 GPa。

CRB2ターゲット材料、融点1950℃、密度5.2g / cm 3、抵抗率21~56μΩ・cm、ビッカース硬度18gpa。

MOB2ターゲット材料、融点2250℃、密度7.7g / cm 3、抵抗率20~40μΩ・cm、ビッカース硬度12gpa。

W2B5ターゲット、融点2200℃、密度13.1g / cm 3、抵抗率21~56μΩ・cm、ビッカース硬度26.5gpa。