フッ化セリウム（CEF3）スパッタリングターゲット

特性

セリウム（III）フッ化セリウム（または三フッ化セリウム）、CEF₃希土類金属セリウムとフッ素のイオン性化合物である。

それはフルコライト - （CE）の形で鉱物として現れる。

化学式：CEF.₃

モル質量：197.12g / mol

密度：6.16 g / cm³（20℃で）

融点：1,460°C（2,660°F; 1,730 K）

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