フッ化エルビウム（ERF3）スパッタリングターゲット

特性

エルビウム（III） - フルオリドIst Eine Anownische Chemische vegindungesエルビウムAus der Gruppe der Fluide。

化学式：ERF₃

モル質量：224,25 g・モル^{- 1}

密度：7,806 g・cm^の

融点：1146℃

沸点：2200℃

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