チタンケイ化物（TiSi2）-スパッタリングターゲット

特性

二ケイ化チタン（TiSi2）は無機化合物です。

化学式：TiSi2

モル質量：104.038g / mol

外観：黒色斜方晶

密度：4.02g / cm3

融点：1,470°C（2,680°F; 1,740 K）

水への溶解度：不溶性

溶解性：HFに可溶

応用

ケイ化チタンは、半導体業界で使用されています。これは通常、シリコンおよびポリシリコンライン上でサリサイド技術を使用して成長し、ローカルトランジスタ接続のシート抵抗を低減します。マイクロエレクトロニクス業界では、通常、C54フェーズで使用されます。