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特性
二ケイ化チタン（Ti5Si3）は無機化合物です。
化学式：Ti5Si3
フォーミュラ重量：323.76g / mol
融点：2130°C
感度：周囲温度。
溶解性：フッ化水素酸に可溶。水に溶けない。
応用
これは、CMOS集積回路のソース、ゲート、ドレイン接点およびローカル相互接続として使用されます。C54フェーズで使用されます。
特性
二ケイ化チタン（Ti5Si3）は無機化合物です。
化学式：Ti5Si3
フォーミュラ重量：323.76g / mol
融点：2130°C
感度：周囲温度。
溶解性：フッ化水素酸に可溶。水に溶けない。
応用
これは、CMOS集積回路のソース、ゲート、ドレイン接点およびローカル相互接続として使用されます。C54フェーズで使用されます。
