ケイ化モリブデン（MoSi2）-スパッタリングターゲット

特性

二ケイ化モリブデン（MoSi₂、またはモリブデンケイ化物）、金属間化合物、モリブデンのケイ化物は、発熱体で主に使用される耐火セラミックです。密度は中程度、融点は2030°Cで、導電性があります。高温では、二酸化ケイ素の不動態化層を形成し、それ以上の酸化から保護します。MoSiの熱安定性₂その高い放射率とともに、WSiと並んでこの材料を作ります₂大気圏突入用の遮熱材の高放射率コーティングとしての用途に魅力的です。MoSi₂正方晶の結晶構造（アルファ修飾）を備えた灰色の金属のように見える材料です。そのベータ修正は六角形で不安定です。

化学式：MoSi₂

モル質量：152.11g / mol

外観：灰色の金属固体

密度：6.26g / cm³

融点：2,030°C（3,690°F; 2,300 K）

結晶構造：正方晶

応用

二ケイ化モリブデン発熱体は、ガラス、鋼、電子機器、セラミックの製造、および材料の熱処理において、実験室および製造環境で使用される電気炉で、1800°Cまでの温度に使用できます。エレメントはもろいですが、経年劣化することなく高出力で動作でき、電気抵抗率は動作時間とともに増加しません。不動態化層の破壊により、酸素含有量の少ない雰囲気では、それらの最高作動温度を下げる必要があります。

発熱体に使用される他のセラミック材料は、例えば、炭化ケイ素、チタン酸バリウム、およびチタン酸鉛複合材料である。

二ケイ化モリブデンは、マイクロエレクトロニクスで接触材料として使用されます。ポリシリコンラインの導電率を高め、信号速度を上げるためのシャントとしてよく使用されます。