インジウムスズ酸化物（In2O3-SnO2（90：10 Wt％））-スパッタリングターゲット

特性

インジウムスズ酸化物（ITO）は、さまざまな比率のインジウム、スズ、および酸素の3成分組成です。酸素含有量に応じて、セラミックまたは合金のいずれかとして説明できます。インジウムスズ酸化物は、その2つの主要な特性、つまり導電性と光学的透明性、および使いやすさから、最も広く使用されている透明導電性酸化物の1つです。薄膜として堆積させることができます。インジウムスズ酸化物の薄膜は、最も一般的には物理蒸着によって表面に堆積されます。多くの場合、電子ビーム蒸着、またはさまざまなスパッタ蒸着技術が使用されます。

応用

インジウムスズ酸化物（ITO）は、研究と産業の両方で広く適用されているオプトエレクトロニクス材料です。ITOは、フラットパネルディスプレイ、スマートウィンドウ、ポリマーベースの電子機器、薄膜太陽光発電、スーパーマーケットの冷凍庫のガラスドア、建築用窓など、多くのアプリケーションに使用できます。さらに、ガラス基板用のITO薄膜は、ガラス窓がエネルギーを節約するのに役立ちます。

ITOグリーンテープは、エレクトロルミネッセンスで機能的で完全に柔軟なランプの製造に利用されています。また、ITO薄膜は、主に反射防止コーティングとして、また液晶ディスプレイ（LCD）やエレクトロルミネッセンス用に使用され、薄膜は導電性の透明電極として使用されます。

ITOは、液晶ディスプレイ、フラットパネルディスプレイ、プラズマディスプレイ、タッチパネル、電子インクアプリケーションなどのディスプレイの透明導電性コーティングの製造によく使用されます。ITOの薄膜は、有機発光ダイオード、太陽電池、帯電防止コーティング、EMIシールドにも使用されています。有機発光ダイオードでは、ITOがアノード（正孔注入層）として使用されます。

フロントガラスに蒸着されたITOフィルムは、航空機のフロントガラスの霜取りに使用されます。フィルムに電圧を印加することで熱が発生します。

ITOは、さまざまな光学コーティング、特に自動車用の赤外線反射コーティング（ホットミラー）、およびナトリウムランプガラスにも使用されています。その他の用途には、ガスセンサー、反射防止コーティング、誘電体のエレクトロウェッティング、VCSELレーザー用のブラッグ反射器などがあります。ITOは、low-eウィンドウペインのIRリフレクターとしても使用されます。ITOは、ブルーチャネル応答を向上させる手段として、Kodak DCS520以降のKodakDCSカメラのセンサーコーティングとしても使用されました。

ITO薄膜ひずみゲージは、最大1400°Cの温度で動作し、ガスタービン、ジェットエンジン、ロックなどの過酷な環境で使用できます。