金属合金スパッタリングターゲット
- アルミン酸クロム（CrAl）-スパッタリングターゲット
- ニッケルシリコン合金（NiSi）-スパッタリングターゲット
- アルミニウムチタン（AlTi）-スパッタリングターゲット
- ゲルマニド銅（CuGe）-スパッタリングターゲット
- バナジウムタングステン（VW（98/2 wt％））-スパッタリングターゲット
- インジウム亜鉛合金（InZn（90:10 wt％））-スパッタリングターゲット
- コバルトパラジウム合金（CoPd）-スパッタリングターゲット
- ニッケル白金合金（NiPt（99.95％））-スパッタリングターゲット
- シリコンクロム（SiCr（72 / 28wt％））-スパッタリングターゲット
- 鉄ガリウム合金（FeGa（82/18 at％））-スパッタリングターゲット