金属合金スパッタリングターゲット
- タングステンチタン（WTi（90:10 wt％））-デルタターゲット
- アルミニウムクロム合金（AlCr）-スパッタリングターゲット
- クロムシリコン（CrSi）-スパッタリングターゲット
- コバルトガドリニウム合金（CoGd）-スパッタリングターゲット
- チタンマグネシウム合金（TiMg（65:35 at％））-スパッタリングターゲット
- 鉄クロム合金（FeCr）-スパッタリングターゲット
- コバルトサマリウム合金（CoSm（50:50））-スパッタリングターゲット
- アルミニウムシリコン合金（AlSi）-スパッタリングターゲット
- ニッケルクロム合金（NiCr）-回転式スパッタリングターゲット
- 銅シリコン（CuSi）-スパッタリングターゲット