セラミックスパッタリングターゲット
- アルミナドープ酸化亜鉛（ZnO-Al2O3）-スプレーロータリースパッタリングターゲット
- コバルトシリコン（CoSi2）-スパッタリングターゲット
- ケイ化鉄（FeSi2）-スパッタリングターゲット
- ケイ化クロム（CrSi2）-スパッタリングターゲット
- チタンケイ化物（I）（TiSi）-スパッタリングターゲット
- 五酸化タンタル（Ta2O5）-スパッタリングターゲット
- 酸化テルル（TeO2）-スパッタリングターゲット
- 酸化アンチモン（Sb2O3）-スパッタリングターゲット
- インジウム亜鉛酸化スズ（In2O3：ZnO：SnO2（90：7：3 Wt％））-スパッタリングターゲット
- インジウム酸化亜鉛（In2O3：ZnO（90:10 Wt％））-スパッタリングターゲット