セラミックスパッタリングターゲット
- コバルト酸リチウム（LiCoO2）-スパッタリングターゲット
- チタンケイ化物（TiSi2）-スパッタリングターゲット
- 二ケイ化タングステン（WSi2）-スパッタリングターゲット
- タンタルケイ化物（TaSi）-スパッタリングターゲット
- 二酸化マンガンリチウム（LiMn2O4）-スパッタリングターゲット
- ケイ化モリブデン（MoSi2）-スパッタリングターゲット
- リチウムチタン酸化物（LTO）（Li4Ti5O12）-スパッタリングターゲット
- ケイ化ニオブ（NbSi2）-スパッタリングターゲット
- チタン酸バリウム（酸化チタンバリウム）（BaTiO3）-スパッタリングターゲット
- チタン酸リチウム（Li2TiO3）-スパッタリングターゲット