セラミックスパッタリングターゲット
- リン化ガリウム（GaP）-スパッタリングターゲット
- バナジウムケイ化物（VSi2）-スパッタリングターゲット
- コバルト酸リチウム（LiCoO2）-スパッタリングターゲット
- チタンケイ化物（TiSi2）-スパッタリングターゲット
- 二ケイ化タングステン（WSi2）-スパッタリングターゲット
- タンタルケイ化物（TaSi）-スパッタリングターゲット
- 二酸化マンガンリチウム（LiMn2O4）-スパッタリングターゲット
- ケイ化モリブデン（MoSi2）-スパッタリングターゲット
- リチウムチタン酸化物（LTO）（Li4Ti5O12）-スパッタリングターゲット
- ケイ化ニオブ（NbSi2）-スパッタリングターゲット