セラミックスパッタリングターゲット
- リチウムニッケルコバルトアルミニウムオキシド（LiNixCoyAl1-x-yO2）-スパッタリングターゲット
- リン酸リチウムニッケル（LiNiPO4）-スパッタリングターゲット
- リチウムニッケルコバルト酸化物（LiNixCo1-xO2）-スパッタリングターゲット
- リチウムニッケル酸化物（LiNiO2）-スパッタリングターゲット
- リチウムマンガン鉄リン酸塩（LiMnxFe1-xPO4）-スパッタリングターゲット
- リン酸鉄リチウム（LFP）（LiFePO4）-スパッタリングターゲット
- リチウムマンガンコバルト酸化物（LiMnxCo1-xO3）-スパッタリングターゲット
- フッ化亜鉛（ZnF2）-スパッタリングターゲット
- 二酸化ケイ素（SiO2）-スパッタリングターゲット
- 酸化インジウム（In2O3）-スパッタリングターゲット