窒化タンタル(TaN)-ペレット

製品説明

特性


窒化タンタル(TAN)は、タンタルの窒化物、化合物である。 TAからのシームミルでは、化合物の複数の相がある。2nからta.3N5タンを含む。


化学式:Tan.

モル質量:194.955 g / mol

外観:黒いクリスタル

密度:14.3 g / cm3

融点:3,090°C(5,590°F; 3,360 K)

水への溶解度:不溶性

結晶構造:六角形、HP6



応用


それは、銅、または他の導電性金属の間に拡散障壁または「接着剤」層を作り出すために集積回路製造において使用されることがある。 BEOL処理(C.20nm)の場合、銅を最初にタンタルで被覆し、次いで物理気相成長法(PVD)を用いてTaNで塗布する。次いで、このバリア被覆銅をPVDによりより多くの銅で被覆し、そして機械的に処理される前に電解塗布銅を充填する。


薄膜抵抗器にも用途があります。それは、水分に耐性のある不動態化酸化膜を形成するニクローム抵抗体よりも有利である。



MSDS

窒化ハフニウム(HfN)スパッタリングターゲット

窒化タンタル(TaN) - キューブ/正方形

窒化バリウム(Ba3N2)-粉末

窒化銅(Cu3N) - パウダー