窒化タンタル（TaN） - キューブ/正方形
製品説明
特性
窒化タンタル（TaN）は、タンタルの窒化物である化合物です。 Taから化学量論的に化合物の複数の相があります2NからTa3N5TaNを含む。
化学式：TaN
モル質量：194.955g / mol
外観：黒い結晶
密度：14.3g / cm3
融点：3,090°C（5,590°F; 3,360 K）
水への溶解度：不溶性
結晶構造：六方晶、hP6
応用
集積回路の製造で、銅やその他の導電性金属の間に拡散バリアまたは「接着剤」層を作成するために使用されることがあります。 BEOL処理（約20 nm）の場合、銅は最初にタンタルでコーティングされ、次に物理蒸着（PVD）を使用してTaNでコーティングされます。次に、このバリアコーティングされた銅は、PVDによってさらに銅でコーティングされ、電解コーティングされた銅が充填されてから、機械的に処理されます。
また、薄膜抵抗器にも応用できます。ニクロム抵抗器に比べて、湿気に強い不動態化酸化皮膜を形成するという利点があります。