フッ化ランタン（LAF3）スパッタリングターゲット

特性

ランタン三フッ化窒素はランタンとフッ素の難治性イオン性化合物です。

化学式：のLaF₃

モル質量：195.900グラム/モル

外観：白い結晶性固体

密度：5.9グラム/ cmで³

融点：1,493°C（2,719°F; 1766 K）

屈折率（nD）：1.606

結晶構造：菱面体晶、HR24

応用

フッ化ランタンは、紫外ダイクロイックおよび狭帯域ミラーなどの多層光学素子の「高屈折率」成分として使用されることがある。フッ化物は、遠紫外線（FUV、100nm <200nm）のそれらの相対的な不活性および透明性のために、UV光学コーティングに最も一般的に使用されている化合物の中にある。多層反射体および反射防止コーティングは、典型的には、屈折率が低い一つの透明材料、もう一方が高い屈折率の対で構成されている。遠紫外線には非常に少数の高屈折率材料があります。 LAF3は1です。材料はまた、Zblanなどのマルチメタルフッ化物ガラスの成分である。それはまた、フッ化物選択電極中に（フッ化ユーロピウム、EUF2を用いて）使用される。