フッ化セリウム（CEF3）スパッタリングターゲット
製品説明
特性
セリウム（III）フッ化セリウム（または三フッ化セリウム）、CEF3希土類金属セリウムとフッ素のイオン性化合物である。
それはフルコライト - （CE）の形で鉱物として現れる。
化学式：CEF.3
モル質量：197.12g / mol
密度：6.16 g / cm3（20℃で）
融点：1,460°C（2,660°F; 1,730 K）
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