ケイ化ジルコニウム（ZrSi2）-スパッタリングターゲット

特性

ケイ化ジルコニウム（IV）は、化学式ZrSiの無機化合物です。₂、ジルコニウム原子とシリコン原子で構成されています。

化学式：ZrSi₂

モル質量：147.395g / mol

外観：灰色の粉末

密度：4.88g / cm³

融点：1,620°C（2,950°F; 1,890 K）

水への溶解度：不溶性

溶解性：フッ化水素酸に可溶

応用

半導体フィルム製造るつぼの製造に使用される、セラミック原料粉末として使用されます。

ケイ化ジルコニウム-MSDS.pdf