耐火物合金スパッタリングターゲット
- モリブデン銅（MoCu（95：5 at％）） - スパッタリングターゲット
- ニオブアルミニド（NbAl（90:10））-スパッタリングターゲット
- モリブデンタンタル合金（MoTa）スパッタリングターゲット
- タングステンタンタル合金（WTa）-スパッタリングターゲット
- 白金マンガン合金（PtMn）-スパッタリングターゲット
- シリコンゲルマニウム合金（SiGe）-スパッタリングターゲット
- ニオブチタン（NbTi）-スパッタリングターゲット
- タングステンクロム合金（WCr）-スパッタリングターゲット
- タングステンニッケル（W / Ni（90:10））-スパッタリングターゲット
- タングステンチタン（WTi（90:10 wt％））-スパッタリングターゲット