金属合金スパッタリングターゲット
- 亜鉛アルミ合金（ZnAl（98：2 wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅ニッケル合金（CuNi（55:45 wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅鉄（CuFe（99：1 wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅チタン（CuTi）スパッタリングターゲット
- ニッケルニオブジルコニウム合金（NiNbZr（60/30/10 at％）） - スパッタリングターゲット
- ニッケルモリブデンタングステン（NiMoW（84/8/8 wt％）） - スパッタリングターゲット
- ニッケルモリブデン（NiMo（85:15 at％）） - スパッタリングターゲット
- ニッケルニオブタンタル合金（NiNbTa（60/30/10 at％）） - スパッタリングターゲット
- ニッケルジルコニウム合金（NiZr（50/50 wt％）） - スパッタリングターゲット
- ニッケルチタン合金（NiTi）スパッタリングターゲット