銅合金スパッタリングターゲット
- 銅ニッケル合金（CuNi（55:45 wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅鉄（CuFe（99：1 wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅チタン（CuTi）スパッタリングターゲット
- 銅亜鉛（CuZn（70:30 at％）） - スパッタリングターゲット
- 錫銀銅（SnAgCu） - スパッタリングターゲット
- スズ銅（SnCu（63:35 at％））-スパッタリングターゲット
- 銅ガリウム合金（CuGa（80:20 wt％）） - スパッタリングターゲット
- 銅インジウムガリウム（CuInGa）-スパッタリングターゲット
- 銅インジウム合金（CuIn（80:20 wt％））-スパッタリングターゲット
- 銅ジルコニウム合金（CuZr（60:40 at％））-スパッタリングターゲット