セラミックスパッタリングターゲット
- 炭窒化チタン（TiCN TiC / TiN（50/50％）） - スパッタリングターゲット
- 窒化ケイ素（Si3N4）スパッタリングターゲット
- 窒化アルミニウム（AlN）スパッタリングターゲット
- リン酸リチウム（Li3PO4）-スパッタリングターゲット
- ニオブ酸リチウム（LiNbO3）-スパッタリングターゲット
- フッ化リチウム（LiF）-スパッタリングターゲット
- フッ化ナトリウム（NaF）-スパッタリングターゲット
- フッ化イットリウムナトリウム（NaYF4）-スパッタリングターゲット
- ニオブスズ（Nb3Sn）-スパッタリングターゲット
- 酸化スズ-亜鉛（SnO2-ZnO）-スパッタリングターゲット