セラミックスパッタリングターゲット
- 窒化アルミニウム（AlN）スパッタリングターゲット
- リン酸リチウム（Li3PO4）-スパッタリングターゲット
- テルル化ヒ素（As2Te3）-スパッタリングターゲット
- ニオブ酸リチウム（LiNbO3）-スパッタリングターゲット
- フッ化リチウム（LiF）-スパッタリングターゲット
- フッ化ナトリウム（NaF）-スパッタリングターゲット
- フッ化イットリウムナトリウム（NaYF4）-スパッタリングターゲット
- ニオブスズ（Nb3Sn）-スパッタリングターゲット
- 酸化スズ-亜鉛（SnO2-ZnO）-スパッタリングターゲット
- アルミナドープ酸化亜鉛（AZO）（ZnO-Al2O3（98：2 Wt％））-スパッタリングターゲット