ITO顆粒
公開された： 2020-07-17 起源： パワード
ITO（インジウムスズ酸化物）：In2O3-SnO2（90/10 wt％）
インジウムスズ酸化物（ITO）は、インジウム、スズ、酸素の比率が異なる3成分からなる組成物です。酸素含有量に応じて、それはセラミックまたは合金のいずれかとして説明できます。インジウムスズ酸化物は、2つの主要な特性：電気伝導率と光透過性、および使いやすさのため、最も広く使用されている透明導電性酸化物の1つです。薄膜として堆積できます。インジウムスズ酸化物の薄膜は、最も一般的には物理蒸着によって表面に堆積されます。電子ビーム蒸着、または一連のスパッタ蒸着技術がよく使用されます。