酸化ニオブ（NbOx） - スプレーロータリースパッタリングターゲット
製品説明
特性
製品の化学組成と物理的性質：
化学式：Nb 2 x（x<5）
抵抗率（20°C）：0.1以下Ω。 CM
成形プロセス：スプレーします
密度：> 4.3g / cm3 gt; 95％）
純度：> 99.95％
不純物含有量（単位：PPM、全不純物含有量≦500ppm）
充填方法：標準輸出木製ケースを用いた真空密封梱包。
応用
低電系ガラスフィルムシステム、薄膜太陽電池電極フィルムシステム、TFT、半導体で主に使用されています。