チタンケイ化物（Ti5Si3）-粉末

特性

二ケイ化チタン（Ti5Si3）は無機化合物です。

化学式：Ti5Si3

フォーミュラ重量：323.76g / mol

融点：2130°C

感度：周囲温度。

溶解性：フッ化水素酸に可溶。水に溶けない。

応用

これは、CMOS集積回路のソース、ゲート、ドレイン接点およびローカル相互接続として使用されます。C54フェーズで使用されます。

チタンケイ化物-MSDS.pdf