タンタルカーバイドハフニウム（Ta4HfC5）スパッタリングターゲット

特性

タンタルカーバイドは一般式Taを有する耐火性化合物である_xHF_y-x.C_yこれは、炭化タンタルおよび炭化ハフチウムの固溶体として考えることができる。個別には、これら2つの炭化物は、2進化合物の中で4,150K（3,880℃、7,010°F）および4,201K（3,928℃; 7,102°F）の中で最も高い融点を有し、それらの「合金」と組成物TA4HFC5は、4,263K（3,990℃、7,214°F）の融点を有すると考えられている。

化学式：Ta.₄HFC₅

融点3,990℃。 7,214°F; 4,263 K

タンタルカーバイド - MSDS.PDF.