セラミックターゲット - それの特性に影響する3つの主な要因

の純度セラミックターゲットスパッタリングフィルムの性能に大きな影響を与えます。純度が高いほど、スパッタリングフィルムの均一性およびバッチ製品の品質が向上する。また、高性能セラミックターゲットを調製するために、主に成形方法、原料サイズ、焼結効果を含むこれらの要因を制御して、セラミックターゲットの性能に影響を与える主な要因を解析する必要があります。

形成方法

セラミックターゲットの気孔率を低減し、薄膜の性質を向上させるためには、高密度のスパッタリングセラミックターゲットが必要とされる。低気孔率、高密度は、セラミック体内の粒子が密接に配置されており、外部荷重や腐食性物質を担うときに破壊的な突破口を形成することは容易ではない。形成方法は、カルシウム密度セラミック胚を得るための鍵である。セラミックターゲットは通常、ドライプレス、静水圧プレス、ホットダイカストなどによって形成されます。異なる方法は異なる特性を有し、焼結率セラミックスの焼結および微細構造に異なる効果を有する。

原材料の粒状性

原料の粒径は、セラミックターゲットによって形成されたフィルムの品質に大きな影響を及ぼす。原材料が十分に細かくなると、最終的な焼成物は微細構造を形成し、それが良好な耐摩耗性を有することができる。粉末粒子、より微細な、より大きな、活性が大きく、焼結を促進することができ、磁器の強度はより高く、粒子は散乱され、コランダムのために散乱され、ストレス濃度によって引き起こされる粒界におけるガラス相の異なる線膨張係数の異なるまた、割れの危険性を低減し、細かい穀物も微粒子の破壊が容易ではなく、破壊靭性を向上させるのに有益であり、耐摩耗性を向上させることもできます。

焼結

セラミック焼結のために、簡単に言えば、高温下でのセラミックグリーンビレットの緻密化プロセスです。温度および時間の増加に伴い、粉末粒子間の結合が起こり、焼結体の強度が増大し、粉末粒子の凝集体はある微細構造を有する強力な多結晶焼結体への凝集物、および製品の必要な物理的および機械的性質を得る。素材。試料の緻密化率と最終構造は、それがどのような熱処理を受けているかを反映しています。